北京东方晨景科技有限公司提供的三维磁场探针台，采用无磁材料制成，三对类亥姆霍兹线圈正交放置，产生空间三维磁场，线圈采用水冷结构，并且配备有线圈过热保护装置，可以长时间稳定工作。通过软件或者电源前面板控制每一维上的输出电流，可以产生空间任意方向的矢量磁场。探针台配备有可移动样品台，可以实现水平方向二维移动和样品台360度转动，便于样品的安装和测试。探针台具有四个高精度探针臂，同时配有高精度电子显微镜，便于微小样品的观察操作。探针可通过直流或者低频交流信号，用来测试芯片、晶圆片、封装器件等，广泛应用于半导体工业、MEMS 、超导、电子学、铁电子学、物理学、材料学和生物医学等领域。

三维磁场探针台和东方晨景自主研发的高精度双极性电源相匹配，通过真正的双极性电源输出，实现了空间任意方向上的矢量场合成.

                               三维磁场探针台参数

探针台 参数 

X轴线圈外径 640mm 

Y轴线圈外径 470mm 

Z轴线圈外径 260mm 

X轴线圈间距 240mm 

Y轴线圈间距 126mm 

Z轴线圈间距 100mm 

X轴线圈电流 ≤14A 

Y轴线圈电流 ≤14A 

Z轴线圈电流 ≤14A 

X轴中心最大磁场 ≥300Gs 

Y轴中心最大磁场 ≥300Gs 

Z轴中心最大磁场 ≥300Gs 

X轴均匀度（Φ20球体） 0.1% 

Y轴均匀度（Φ20球体） 0.07% 

Z轴均匀度（Φ20球体） 0.5% 

线圈冷却形式 水冷 

线圈工作温度 ＜60℃ 

总重量 约330㎏ 

 样品台 参数 

样品台直径 最大102mm(可更换) 

X方向行程 ±51mm 

Y方向行程 ±51mm 

旋转角度 360° 

旋转精度 0.1° 

材料 无磁 

 探针座 参数 

X向行程 ±6mm 

Y向行程 ±6mm 

Z向行程 ±6mm 

分辨率 20μm 

三围尺寸 38W*62D*54H 

重量 200克 

注：探针座可选 

探针 参数 

长度 38mm 

直径 0.51mm 

针尖直径 10μm 

材料 钨 

注：探针可选 

显微镜 参数 

成像元件 CMOS 

成像原件像素 1000万 

有效像素 1280*1024 

连续变倍 6X-600X 

视场范围 3.5mm-35mm 

调焦范围 65mm 

镜头直径 50mm 

最小分辨率 1微米 

十字光标 4组 

输出视频 VGA 

显示器 19寸LCD 

注：显微镜可选