ET9000系列电输运性质测试系统（霍尔效应系统）是集霍尔效应、磁阻、I-V特性等测试于一体的全自动化测试系统。系统全面地考虑了仪表配置、电路接线（包括室温和低温的接线）等用户经常忽略的问题，选取了美国Keithley的电测量仪表，磁场根据用户需要采用电磁铁或无液氦超导磁体， 配备灵巧的测量样品杆，加上全自动化的专用测试软件，能让用户快速方便地进行样品测试，并获得准确可靠的数据。 此外、系统还有多种低件，并可以根据用户现有的仪表和对软件的特殊要求进行特殊改造， 是广大科研工作者对样品进行电输运性质研究的有力工具。
磁场组成部分
EM3电磁铁+ P5型高稳定性双极电磁铁电源，高斯计
EM5电磁铁+7050型高稳定性双极电磁铁电源，高斯计及水冷系统
EM7电磁铁+9060型高稳定性双极电磁铁电源，高斯计及水冷系统
EM10电磁铁+65135型高稳定性双极电磁铁电源，高斯计及水冷系统
超导磁体系统：英国Cryogenic公司5T～18T无液氦超导磁体系统， 水冷系统
基本功能:
可以进行霍尔效应、I-V特性（电阻率）及磁电阻（MR）的测量；
可得出参数：方块电阻、电阻率、霍尔系数、霍尔迁移率、载流子浓度和导电类型；
可以绘制以上参数随温度或磁场的变化曲线以及
I-V特性——不同磁场和不同温度下的I-V特性曲线；
R-H特性——固定温度，电阻随着磁场变化的特性曲线；
R-T特性——固定磁场，电阻随着温度变化的特性曲线
霍尔效应测量/测试系统 ET9000系列电输运测量系统
主要特点
电阻率、霍尔系数及霍尔迁移率测试遵从美国材料与试验协会ASTM-F76标准；
阻测量范围宽：100nΩ（低电阻选件）~ 100GΩ（高阻系统）；
使用插入式样品卡，样品安装方便，同时提供四探针卡，免去制作电极的麻烦；
标准系统一次可以同时测量2个样品，增加选件可同时测量4个样品；
测量和计算过程由软件自动执行，3分钟即可得到一个霍尔效应数据；
提供长时间高稳定性的磁场，24小时稳定性<±0.5G，并且磁场能够平滑过零；
电磁铁电源内置高斯计，磁场从0到1kG只需20S即可控制在0.1G以内；
选择温度选件，可以进行不同温度下的霍尔效应和电阻的测量。
霍尔效应测量/测试系统 ET9000系列电输运测量系统
规格和参数
标准系统
型号ET9003ET9005ET9007
物理学参数迁移率1 ~ 1 × 105 cm2/vs
载流子浓度6 × 1012 ~ 6 × 1021 cm-3
霍尔系数±1 × 10-3 ~ ±1 × 106 cm3/C
电阻率5 × 10-7 ~ 5 × 102 Ω·cm
电学参数电阻10mΩ ~ 10MΩ
电流源±50pA~±1A(±1.05A@±21V, ±105mA@±210V)
电压源±5μV~±200V(±21V@±1.05A, ±210V@±105mA)
电流测量±10pA~±1.05A（10pA为最小分辨率）
电压测量±0.1μV~±200V（0.1μV为最小分辨率）
磁场环境室温磁场1T@10mm间距2.4T@10mm间距2.6T@10mm间距
变温磁场0.44T@液氮恒温器
0.26T@闭循环恒温器1.7T@液氮恒温器
1.1T@闭循环恒温器2.0T@液氮恒温器
1.5T@闭循环恒温器
温度（选件）单点液氮盒77K
液氮恒温器80K~325K（标准型），80~500K（高温型）
闭循环恒温器4K~325K（4K型），10K~325K（10K型）
高温炉325K~1000K
其他样品最大尺寸10mm*10mm*3mm30mm*30mm*3mm50mm*50mm*3mm
样品数量2个（增加选件可扩展到4个）
占地面积2m*1.5m5m*2m5m*2m
注释：假定样品厚度100纳米，磁场大小10000高斯，修正系数为1。以上规格参数，电阻测试精度为2%，电阻率、霍尔系数、载流子浓度和迁移率的测试精度为5%。
高灵敏度系统
型号ET9003-HSET9005-HSET9007-HS
物理学参数迁移率1 ~ 1 × 106 cm2/vs
载流子浓度6 × 1012 ~ 6 × 1023 cm-3
霍尔系数±1 × 10-5 ~±1 × 106 cm3/C
电阻率5 × 10-9 ~ 5 × 102 Ω·cm
电学参数电阻0.1mΩ ~ 10MΩ
低电阻选件100nΩ ~ 10MΩ
电流源±50pA~±1A(±1.05A@±21V, ±105mA@±210V)
电压源±5μV~±200V(±21V@±1.05A, ±210V@±105mA)
电流测量±10pA~±1.05A（10pA为最小分辨率）
电压测量±1nV~±100V（1nV为最小分辨率）
磁场环境室温磁场1T@10mm间距2.4T@10mm间距2.6T@10mm间距
变温磁场0.44T@液氮恒温器
0.26T@闭循环恒温器1.7T@液氮恒温器
1.1T@闭循