Varian 公司利用干式涡旋真空获得技术为用户提供了高抽速，低极限压强的真空泵产品。干式涡旋泵具有全无油、高耐用性、高可靠性以及易维护等优势，是众多应用领域的理想前级真空获得产品。

型号 IDP-2 IDP-3 SH-110 TriScroll 300 · TriScroll 600 

抽速（l/min） 30 50 90 210 420 

极限真空(mbar) 0.1 0.33 6.6 x 10-2 1.3 x 10-2 9.3 x 10-3 

冷却方式 风冷 风冷 风冷 风冷 风冷 

体积（mm3） 

 351x181x140 384 x 240 x 276 437 x340 x325 471 x355 x343 

重量（Kg） 9.5 9.5 19 26.4 32 

IDP-2、IDP-3 干泵是Varian 公司最新推出的紧凑型全无油的高性能真空泵，能够适合非常广泛的应用需要。IDP-2 是世界上最小的涡旋泵，用于各种粗真空获得应用，重量仅有9.5Kg，能够轻而易举地集成到各种实验、分析、生产系统当中。IDP-3 所具有的60/升/分钟抽气速度以及 250mTorr（约33Pa）极限压强，使其在同级别产品当中具有无可匹敌的优势。

干泵产品特点：

◆  全无油泵，不会污染真空系统

◆  采用独立马达与轴承的密封设计

◆  体积小巧：351x181x140mm

◆  与老式的膜片式干泵(隔膜泵)相比具有更低的极限压强

◆  无任何可能造成灾害性系统故障的机械部件

◆  低噪声，低振动

Varian SH-110全密封干式涡旋泵具有业内领先的真空获得性能，结构紧凑，能够轻易地实现与现有各种科研、生产设备的真空系统相集成。此型号单级涡旋泵具有110升/分钟的抽速(60Hz电源条件下)，可获得50mTorr(约67Pa)的极限真空，即使单独作为粗真空获得设备也是非常理想的选择。SH-110涡旋泵符合CE、CSA以及Semi S2-0200等多种标准。

干泵性能特点：

◆  工作状态下泵体发热低

◆  马达功率不到200瓦，低功耗

◆  内置出气阀门有效降低工作噪声

◆  出气口位置可以动，以便更好地适应空间要求

◆  高压区间抽速高，确保迅速进入真空状态

◆   重量轻，配有把手，易于携带

◆  内置故障保护隔离阀保证真空系统的安全

◆   配有自动气镇阀以有效排空水蒸气

◆  维护简便，只需定期更换密封圈即可

TriScroll 300干泵 是Varian公司生产的一款用于初级真空获得的多级干式涡旋泵产品,具有出色的工作稳定性。TriScroll 300 以高抽速为用户提供了具有较低极限真空的无油洁净真空环境。多年的实际应用证明，Varian 独有的专利TriScroll 300 设计具有很高的可靠性和耐用性，产品性能稳定，性价比非常突出。

干泵技术特点：

◆  独有的TriScrollTM专业结构设计

◆  具有轴承吹扫功能，保护轴承不被工艺气体或粉尘污染

◆  高可靠性

◆  具有自动气镇口

TriScroll 600干泵 是Varian 公司生产的一款用于初级真空获得的多极干式涡旋泵产品，具有出色的工作稳定性。TriScroll 600 以高抽速为用户提供了具有较低极限真空的无油洁净环境。多年的实际应用证明,Varian独有的专利TriScroll设计具有很高的可靠性和耐用性，产品性能稳定，性价比非常突出。

主要干泵型号: IDP-2干泵、 IDP-3干泵、 SH-110干泵、 TriScroll 300干泵、 TriScroll 600干泵