油扩散泵是获得高真空的主要设备，被广泛用于真空冶炼、真空镀膜、原子能、空间模拟试验和对油污染不敏感的真空系统中。Varian公司作为全世界范围内领先的扩散泵供应商，为客户提供口径从2英寸到35英寸范围内各种扩散泵，是美国唯一的一个全系列的扩散泵供应商。产品具有大抽速，高排气量等特点。 适用于真空度在10-1~10-8mbar之间。

特点：

Ø    大抽速、大抽气量

Ø    抗辐射、抗氧化、快速循环.抗爆炸.

Ø    高前级耐压

Ø    高极限真空度

Ø    返油量极低

Ø    超常的使用寿命

扩散泵（AX,HS,VHS,NHS型号）参数对照

型号 AX-65 HS-2  VHS-4  VHS-6  VHS-250  

 抽速空气，L/s  65 160 750  1550  2125  

 最大前级耐压Torr/mbar

没有负载

有负载 

0.75/1.0

0.6/0.78 

0.55/0.72

0.4/0.52 

0.65/0.86

0.55/0.73 

0.65/0.85

0.55/0.72 

0.65/0.85

0.55/0.72 

 推荐前级泵抽速m3/hr  0.15/0.25  5.0/8.5  10/17  17/28.9  17/28.9 

 返油率mg/cm2/min

标准冷带 2×10-4 1×10-3 5×10-4  5×10-4  5×10-4 

 启动时间（min）  7  15  10  10  15 

 电源  1ph,50Hz,

220V  1ph,50Hz,

240V  1ph,50Hz

240V  1ph,50Hz,

240V  3ph,50Hz,

240V 

 功率  200/250 450   1450 2200   2200 

 冷却水l/hr,15-26°C  N/A  0.1/20 0.15/30   0.25/50 0.25/50  

 型号 VHS-10  VHS-400  HS-16  HS-32  NHS-35  

 抽速空气，L/s 3650  4500  6000  17300  28000  

 最大前级耐压Torr/mbar

没有负载

有负载 

0.65/0.85

0.55/0.72 0.65/0.85

0.55/0.72  0.65/0.82

0.55/0.72 0.50/0.65

0.35/0.45 0.55/0.71

0.40/0.52 

 推荐前级泵抽速m3/hr  30/51  30/51  80/136  300/510  300/510 

 返油率mg/cm2/min

标准冷带 5×10-4 1×10-3  1.5×10-3 7×10-4  5×10-4 

 启动时间（min）  15  30  45  60  －－ 

 电源  3ph,50Hz,

380V  3ph,50Hz,

380V  3ph,50Hz,

380V    3ph,50Hz,

380V    3ph,50Hz,

380V   

 功率  4400  4400  8100/9600  24000  24000 

 冷却水l/hr,15-26°C  0.4/80 0.4/80   1.5/300  4.0/800 4.0/800